Der Lehrstuhl FAPS erobert den Nanospace

Hochauflösendes multimodales Rasterelektronenmikroskop TESCAN AMBER X mit Xe-Plasma-FIB

Foto: FAU / FAPS

Durch einen erfolgreich bewilligten DFG Großgeräteantrag wurde es dem Lehrstuhl FAPS ermöglicht, in ein herausragendes Rasterelektronenmikroskop der Fa. TESCAN zu investieren. Mit der einzigartigen Kombination aus feldfreier Ultra-High-Resolution BrightBeam™ REM-Optik und einer Xenon Plasma-FIB können unterschiedlichste Applikationen präzise präpariert, analysiert und schließlich charakterisiert werden. Das high-end System AMBER X ist bestens geeignet für hohe Durchsätze, großflächiges Ionenpolieren und eine feldfreie bis zu 0,9 nm ultrahochauflösende Bildgebung zur 2D- und 3D-Charakterisierung auf unterschiedlichsten konventionellen und neuartigen Materialien. Zusätzlich ist ein vollintegriertes RAMAN Mikroskop der Fa. WITec verbaut, mit welchem sich Struktur, Oberfläche und molekulare Bestandteile an derselben Probenstelle messen und wechselweise in Beziehung setzen lassen. Komplettiert wird das System durch einen EDX- und EBSD Detektor der Fa. Bruker. EBSD ist eine sehr leistungsfähige Technik zur Analyse von Mikrostrukturen und zur Phasenidentifikation. Durch die Messung der Gitterorientierung der Körner und die Ermittlung der Phasenverteilung hilft EBSD dabei, die kristallographisch bevorzugten Ausrichtungen zu bestimmen und Verformungs- und Phasenumwandlungsmechanismen zu verstehen. Mit dem EDX-Detektor kann die spezifische elementare Zusammensetzung eines Materials dargestellt werden.

Übersicht der Detektoren der TESCAN AMBER X am Lehrstuhl FAPS.

All diese mikroanalytischen Werkzeuge bieten darüber hinaus ein beispielloses Potenzial für die multimodale FIB-REM-Tomographie. Die Entwicklung innovativster mechatronischer Produkte am FAPS auf Basis neuester Verbindungstechnologien unterstützt durch additive Fertigung und gedruckte Elektronik schuf in den vergangenen Jahren einen erheblichen Bedarf an neuen analytischen Möglichkeiten. Mit der TESCAN AMBER X beschreitet der FAPS eine neue Dimension bei der Gewinnung wissenschaftlicher Erkenntnisse und ist hervorragend auf aktuelle Anforderungen und zukünftige Herausforderungen bei der Analyse und Charakterisierung mechatronischer Produkte gerüstet.

Weitere Informationen finden Sie bei der Fa. TESCAN, im TESCAN Wiki und bei der Fa. Bruker bzw. Fa. WITec.

Das Gerät wurde kofinanziert von der

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